Harorat va namlikni avtomatik boshqarish
Toza xonaning harorati va namligi asosan jarayon talablariga muvofiq belgilanadi, ammo jarayon talablari bajarilishi sharti bilan insonning qulayligi e'tiborga olinishi kerak.Havoning tozaligi talablarining ortishi bilan jarayonning harorat va namlik bo'yicha tobora qattiqroq talablarga ega bo'lish tendentsiyasi mavjud.
Ishlov berishning aniqligi tobora nozik bo'lib borayotganligi sababli, harorat o'zgarishi diapazoniga qo'yiladigan talablar tobora kichikroq bo'lib bormoqda.Masalan, keng ko'lamli integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning litografiya ta'sir qilish jarayonida, diafragmaning materiali sifatida shisha va silikon gofretning termal kengayish koeffitsienti o'rtasidagi farq kichikroq va kichikroq bo'lishi kerak.Diametri 100 mkm bo'lgan kremniy gofret harorat 1 darajaga ko'tarilganda 0,24 mkm chiziqli kengayishiga olib keladi.Shuning uchun u ± 0,1 daraja doimiy haroratga ega bo'lishi kerak.Shu bilan birga, namlik qiymati odatda past bo'lishi kerak, chunki odam terlagandan keyin mahsulot ifloslanadi, ayniqsa, natriydan qo'rqadigan yarimo'tkazgichli ustaxonalar uchun bunday toza ustaxona 25 darajadan oshmasligi kerak.
Haddan tashqari namlik ko'proq muammolarni keltirib chiqaradi.Nisbiy namlik 55% dan oshganda, sovutish suvi quvurining devorida kondensatsiya paydo bo'ladi.Agar u nozik qurilma yoki sxemada sodir bo'lsa, u turli xil baxtsiz hodisalarga olib keladi.Nisbiy namlik 50% bo'lsa, zanglash oson.Bundan tashqari, namlik juda yuqori bo'lsa, kremniy gofret yuzasidagi chang havodagi suv molekulalari tomonidan kimyoviy yo'l bilan sirtga adsorbsiyalanadi, uni olib tashlash qiyin.Nisbiy namlik qanchalik yuqori bo'lsa, yopishqoqlikni olib tashlash shunchalik qiyin bo'ladi, lekin nisbiy namlik 30% dan past bo'lsa, zarralar ham elektrostatik kuch ta'sirida sirtga osongina adsorbsiyalanadi va ko'p miqdordagi yarimo'tkazgichlar qurilmalar buzilishiga moyil.Silikon gofret ishlab chiqarish uchun eng yaxshi harorat oralig'i 35 ~ 45% ni tashkil qiladi.
